β-FeSi<sub>2</sub>/Si多結晶薄膜におけるPRスペクトルの評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19a-PG3-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_2925

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

β-FeSi₂/Si多結晶薄膜におけるPRスペクトルの評価

*東貴彦, 服部哲, 塚本裕明, 山口陽己

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キーワード: 19a-PG3-2, 半導体B（探索的材料・物性・デバイス）, 探索的材料物性, シリサイド

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