MOD法によるメンブレン上へのアンテナ結合VO<sub>x</sub>マイクロボロメータ検出素子の製作

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-PA2-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_313

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

MOD法によるメンブレン上へのアンテナ結合VO_xマイクロボロメータ検出素子の製作

*松下亮仁, 立木隆, 内田貴司

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キーワード: 19p-PA2-5, 応用物理学一般, 新技術・複合新領域, テラヘルツ

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