Traveling Liquidus-Zone法によるSiGe単結晶成長時のクラック抑制

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 18a-D3-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_3222

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

Traveling Liquidus-Zone法によるSiGe単結晶成長時のクラック抑制

*永壽伴寛, 森野美樹, 木下恭一, 荒井康智

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キーワード: 18a-D3-13, 結晶工学, バルク結晶成長, 結晶成長

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