赤外線集中加熱浮遊帯溶融(IR-FZ)法によるシリコン結晶育成における回転楕円鏡の移動効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19a-PG4-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_3224

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

赤外線集中加熱浮遊帯溶融(IR-FZ)法によるシリコン結晶育成における回転楕円鏡の移動効果

*綿打敏司, ムクタールホサイン, 長尾雅則, 田中功

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キーワード: 19a-PG4-1, 結晶工学, バルク結晶成長, 浮遊帯溶融法, 界面形状

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