トップコンタクト電極を用いたCNT/SiC界面の接触抵抗及びSchottky障壁高さの評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-E18-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_3744

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

トップコンタクト電極を用いたCNT/SiC界面の接触抵抗及びSchottky障壁高さの評価

*鈴木和真, 稲葉優文, 渋谷恵, 李智宇, 明道三穂, 平岩篤, 増田佳穂, 乗松航, 楠美智子, 川原田洋

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キーワード: 19p-E18-10, ナノカーボン, デバイス応用, カーボンナノチューブ, 炭化珪素, ショットキー障壁

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