ZnO単結晶薄膜にドープされたWの表面偏析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-E10-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_3778

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

ZnO単結晶薄膜にドープされたWの表面偏析

*鈴木拓, 安達裕, 齋藤紀子, 橋口未奈子, 坂口勲, 大橋直樹, 菱田俊一

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キーワード: 17a-E10-7, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 酸化亜鉛, 表面偏析, イオン散乱分光法

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