微量水分計測のためのボールSAWセンサシステムの高度化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 18p-F5-15

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_400

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

微量水分計測のためのボールSAWセンサシステムの高度化

*辻俊宏, 萩原啓, 大場俊弘, 小清水秀和, 大泉透, 竹田宣生, 赤尾慎吾, 大木恒郎, 高柳浩介, 柳沢恭行, 中曽教尊, 塚原祐輔, 山中一司

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キーワード: 18p-F5-15, 応用物理学一般, 超音波, SAW sensor, trace moisture, sol-gel SiOx

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