応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第61回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 18a-E4-3
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

VIPAを用いた低コヒーレンスコム光発生と干渉形状計測への応用
*今津 貴雅, 塩田 達俊
著者情報
キーワード: 18a-E4-3, 光, 計測光学, VIPA, 干渉計, 形状計測
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© 2014 公益社団法人 応用物理学会
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