電界制御板構造が斜め方向プラズマエッチングに与える影響の検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第61回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 18p-E16-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.1.0_796

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 61

開催地: 青山学院大学

開催日: 2014/03/17 - 2014/03/20

電界制御板構造が斜め方向プラズマエッチングに与える影響の検討

*北野圭輔, 石崎賢司, 野田進

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キーワード: 18p-E16-11, 量子エレクトロニクス, フォトニックナノ構造・現象, 3次元フォトニック結晶, プラズマエッチング

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