チップ上における高密度波長多重通信のための物理蒸着による　窒化シリコンプラットフォームに関する研究

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18a-A18-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_1084

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

チップ上における高密度波長多重通信のための物理蒸着による　窒化シリコンプラットフォームに関する研究

*張梓懿, 八子基樹, 寿寛, 河合直行, 土澤泰, 山田浩治, 福田浩, 和田一実

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キーワード: 18a-A18-5, 光・フォトニクス, シリコンフォトニクス, Silicon Nitride, DWDM

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