基板の表面粗さが光学薄膜の光散乱特性に与える影響2

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17p-A11-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_1294

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

基板の表面粗さが光学薄膜の光散乱特性に与える影響2

*杉山拓也, 室谷裕志, 松本繁治, 本多博光, 田村耕一, 杉浦宗男

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キーワード: 17p-A11-1, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 薄膜, 表面粗さ, 光散乱

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