応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第75回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 19a-PB2-9
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

単一Ti0.87O20.52−ナノシートの絶縁・誘電特性
*小川 大輔, 赤塚 公章, 福村 知昭, 長田 実, 佐々木 高義, 長谷川 哲也
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キーワード: 19a-PB2-9, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 酸化物ナノシート, 絶縁膜, 微細加工
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