エピタキシャル鉄シリサイドナノドット積層構造の熱電特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18p-A7-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_1795

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

エピタキシャル鉄シリサイドナノドット積層構造の熱電特性

*山阪司祐人, 中村芳明, 鶴崎晋也, 竹内正太郎, 酒井朗

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キーワード: 18p-A7-13, 応用物性, 熱電変換, nanodot, epitaxial, Si、Silicide

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