Cl<sub>2</sub>-誘導結合型プラズマエッチングにおけるヤヌス型トリプチセンTripC<sub>12</sub> のエッチング特性の評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19a-PA1-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_251

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

Cl₂-誘導結合型プラズマエッチングにおけるヤヌス型トリプチセンTripC₁₂ のエッチング特性の評価

*松谷晃宏, 石割文崇, 庄子良晃, 上原卓也, 中川勝, 福島孝典

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キーワード: 19a-PA1-2, 応用物理一般, 新技術・複合新領域, プラズマ, エッチング

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