DLC Film Deposited on Micro-Electrode with NBECVD for Bio-LSIs

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

The 75th JSAP Autumn Meeting 2014

セッションID: 19a-A2-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_2579

会議情報

主催: The Japan Society of Applied Physics

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

DLC Film Deposited on Micro-Electrode with NBECVD for Bio-LSIs

*Xijiang Chang, 菊地良幸, 久保田智広, 井上久美, 末永智一, 野沢俊久, 寒川誠二

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キーワード: 19a-A2-10, DLC, NBECVD, Bio-LSI

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© 2014 The Japan Society of Applied Physics

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