応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第75回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 17p-PA1-1
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

高機能非冷却赤外線センサの高性能化III -ナノギャップ3次元プラズモニックメタマテリアル吸収体の作製-
*植月 満治, 秦 久敏, 三崎 浩司, 小川 新平, 藤澤 大介, 木股 雅章
著者情報
キーワード: 17p-PA1-1, 半導体A（シリコン）, Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 赤外線センサ, plasmonics, metamaterial
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