Niシリサイド化速度のSi結晶構造依存性 -分子動力学法による解析-

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17p-PA1-14

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_2694

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

Niシリサイド化速度のSi結晶構造依存性 -分子動力学法による解析-

*橋本修一郎, 小杉山洋希, セイソン, 武井康平, 木谷哲, 図師知文, 渡邉孝信

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キーワード: 17p-PA1-14, 半導体A（シリコン）, Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, ニッケルシリサイド, 分子動力学法

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