材料判別を実現する熱伝導率センサ集積型メッシュ状シリコン触覚イメージャ

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18p-A19-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_2721

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

材料判別を実現する熱伝導率センサ集積型メッシュ状シリコン触覚イメージャ

*大杉亮太, 高木優佑, 前田祐作, 寺尾京平, 鈴木孝明, 下川房男, 高尾英邦

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キーワード: 18p-A19-12, 半導体A（シリコン）, Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 触覚センサ, 熱伝導率

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