Si同位体周期構造を用いたend-of-range欠陥に起因する歪みによるSi自己拡散増速の観測

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 20a-A20-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_3404

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

Si同位体周期構造を用いたend-of-range欠陥に起因する歪みによるSi自己拡散増速の観測

*磯田大河, 植松真司, 伊藤公平

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キーワード: 20a-A20-9, 結晶工学, 結晶評価，不純物・結晶欠陥, TED, 増速拡散, EOR defect

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