SiN<sub>x</sub>/Si構造の電気特性におけるファイヤースルー処理の影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17a-PB4-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_3445

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

SiN_x/Si構造の電気特性におけるファイヤースルー処理の影響

*榎本裕也, 高柳暢, 吉田晴彦, 新船幸二, 小椋厚志, 佐藤真一

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キーワード: 17a-PB4-4, 非晶質・微結晶, シリコン系太陽電池, 太陽電池, SiNx, ファイヤースルー

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