ClF3プラズマレスドライエッチングを用いた多結晶Si太陽電池のテクスチャ処理の最適化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17a-PB4-15

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_3456

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

ClF3プラズマレスドライエッチングを用いた多結晶Si太陽電池のテクスチャ処理の最適化

安倍友佳, 市川由美子, *渡邊良祐, 齋藤洋司

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キーワード: 17a-PB4-15, 非晶質・微結晶, シリコン系太陽電池, テクスチャリング, ドライエッチング, 太陽電池

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