CSD堆積した(Bi,Pr)(Fe,Mn)O<sub>3</sub>薄膜に対する水リフトパターニング

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17p-PA4-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_3859

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

CSD堆積した(Bi,Pr)(Fe,Mn)O₃薄膜に対する水リフトパターニング

*中西一浩, 丹羽貴大, 川江健, 森本章治

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キーワード: 17p-PA4-5, コードシェアセッション, 強誘電体薄膜，誘電材料・誘電体のコードシェアセッション, 水リフトオフ, 潮解性, CSD

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