パルスポーリングを行ったPZT薄膜の圧電特性と微細構造の経時変化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17p-PA4-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_3863

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

パルスポーリングを行ったPZT薄膜の圧電特性と微細構造の経時変化

*牧本なつみ, 鈴木靖弘, 前田龍太郎, 舟窪浩, 小林健

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キーワード: 17p-PA4-9, コードシェアセッション, 強誘電体薄膜，誘電材料・誘電体のコードシェアセッション, PZT薄膜, 圧電特性

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