小型フォトニック結晶波長板による点回折干渉計の高精度化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18p-S8-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_748

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

小型フォトニック結晶波長板による点回折干渉計の高精度化

*砂山諒, 豊田光紀, 近藤祐治, 山川清志, 柳原美廣

著者情報

キーワード: 18p-S8-10, 光・フォトニクス, 光計測技術・機器, EUV, 点回折干渉計

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2014 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top