In/Si界面特性とシリコンナノワイヤー形成の関係

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第75回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17a-C6-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_981

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 75

開催地: 北海道大学

開催日: 2014/09/17 - 2014/09/20

In/Si界面特性とシリコンナノワイヤー形成の関係

*喜多一平, 福永圭吾, 矢野裕司, 谷あゆみ, 石割文崇, 岡本尚文, Ajimal Khan, 冬木隆

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キーワード: 17a-C6-5, 光・フォトニクス, 半導体光デバイス, シリコンナノワイヤー

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