波長405／488nm領域におけるSiON導波路の光学特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 11p-A16-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_1121

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

波長405／488nm領域におけるSiON導波路の光学特性

*高磊, 土澤泰, 岡崎功太, 井上鈴代, 上野祐子, 開達郎, 山本剛, 山田浩治

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キーワード: 11p-A16-3, 光・フォトニクス, シリコンフォトニクス, 光導波路，パッシブデバイス，ファイバーカプラー, SiON, シリコンフォトニクス, 可視光用導波路

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