合成石英基板上水素化アモルファスシリコン細線導波路

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 11p-A16-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_1123

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

合成石英基板上水素化アモルファスシリコン細線導波路

*岡野誠, 面田恵美子, 前神有里子, 渥美裕樹, 榊原陽一, 亀井利浩, 森雅彦

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キーワード: 11p-A16-5, 光・フォトニクス, シリコンフォトニクス, 光導波路，パッシブデバイス，ファイバーカプラー, 石英, 光導波路

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