Siの結晶異方性エッチングを利用したスポットサイズ変換器

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 11p-A16-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_1125

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

Siの結晶異方性エッチングを利用したスポットサイズ変換器

*宮村悟史, 小野英輝, 岡部豊, 太縄陽介, 八重樫浩樹, 堀川剛, 平山直紀, 佐々木浩紀

著者情報

キーワード: 11p-A16-7, 光・フォトニクス, シリコンフォトニクス, 光導波路，パッシブデバイス，ファイバーカプラー, Si細線導波路, スポットサイズ変換器, 偏波無依存

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2015 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top