狭間隔スロットリング共振器型MEMS光学素子の検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12a-A16-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_1130

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

狭間隔スロットリング共振器型MEMS光学素子の検討

*雨宮嘉照, 岡田一也, 本澤圭太, 野田和希, 千日拓馬, 福山正隆, 横山新

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キーワード: 12a-A16-1, 光・フォトニクス, シリコンフォトニクス, 光変調器，光スイッチ，非線形デバイス, スロットリング共振器

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