MOD法BaTiO<sub>3</sub>薄膜の抵抗変化型メモリ特性向上の検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14a-D10-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_1349

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

MOD法BaTiO₃薄膜の抵抗変化型メモリ特性向上の検討

*杉江敏幸, 橋本修平, 張子洋, 山下馨, 野田実

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キーワード: 14a-D10-8, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, 抵抗変化メモリ, 抵抗変化メモリ, BaTiO3, 酸素欠陥

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