表面をプラズマ処理した窒化ハフニウム薄膜の仕事関数の評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12p-A11-17

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_1531

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

表面をプラズマ処理した窒化ハフニウム薄膜の仕事関数の評価

藤原将, 辻博司, *後藤康仁

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キーワード: 12p-A11-17, ビーム応用, 電子ビーム応用, 電子源・材料, 窒化ハフニウム, 仕事関数, プラズマ処理

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