プラズマプロセス中の基板温度制御のための熱流束モデルの解析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14a-A28-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_1634

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

プラズマプロセス中の基板温度制御のための熱流束モデルの解析

*堤隆嘉, 福永祐介, 石川健治, 竹田圭吾, 近藤博基, 太田貴之, 伊藤昌文, 関根誠, 堀勝

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キーワード: 14a-A28-10, プラズマエレクトロニクス, プラズマ生成・制御, その他のプラズマの生成・制御, 基板温度, 熱流速, プラズマ

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