応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第62回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 13a-A27-7
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

水素化アモルファスシリコン薄膜中Si-H2結合生成に対するクラスタ混入とラジカル表面反応の寄与
*古閑 一憲, 都甲 将, 鳥越 祥宏, 毛屋 公孝, 徐 鉉雄, 板垣 奈穂, 白谷 正治
著者情報
キーワード: 13a-A27-7, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・表面処理, CVD・PVD・スパッタリング, 光劣化, 水素化アモルファスシリコン, 表面反応
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