尿素オリゴマーを用いた真空蒸着膜の薄膜作製及び構造評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 11p-D2-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_2176

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

尿素オリゴマーを用いた真空蒸着膜の薄膜作製及び構造評価

*福冨達也, 森本勝大, 小柴康子, 三崎雅裕, 石田謙司

著者情報

キーワード: 11p-D2-1, 有機分子・バイオエレクトロニクス, 作製・構造制御, ドライプロセス（真空蒸着，CVD）, 尿素, 真空蒸着, オリゴマー

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