フレキシブル基板上での単結晶シリコンCMOSトランジスタの作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12a-A29-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_2856

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

フレキシブル基板上での単結晶シリコンCMOSトランジスタの作製

*酒池耕平, 中川明俊, 赤澤宗樹, 東清一郎

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キーワード: 12a-A29-9, 半導体, Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, TFT, CMOS, 単結晶シリコン, プラスチック

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