ガラス基板上の自己整合四端子平面型メタルダブルゲート低温 poly-Si TFT の制御性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13a-P14-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_2862

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

ガラス基板上の自己整合四端子平面型メタルダブルゲート低温 poly-Si TFT の制御性

*大澤弘樹, 佐々木駿, 原明人

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キーワード: 13a-P14-4, 半導体, Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, TFT, 薄膜トランジスタ, シリコン, 多結晶シリコン

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