応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第62回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 12p-A23-2
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浮遊ゲート型三次元FinFETフラッシュメモリ電気特性のチャネル形状依存性
*柳 永シュン生田目 俊秀松川 貴遠藤 和彦大内 真一塚田 順一山内 洋美石川 由紀水林 亘森田 行則右田 真司太田 裕之知京 豊裕昌原 明植
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