GaNバラクタダイオードの製作

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13p-P17-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3058

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

GaNバラクタダイオードの製作

高橋言緒, 坂村祐一, 長南紘志, 木内真希, 井手利英, 沈旭強, *清水三聡, 板谷太郎, 島田雅夫

著者情報

キーワード: 13p-P17-11, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, 窒化物半導体電子デバイス・回路, 窒化ガリウム, 可変容量ダイオード

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