応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第62回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 11a-B1-8
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

PSD法により成長したp型GaNに対する接触抵抗の評価
*野口 英成, 荒川 靖章, 上野 耕平, 太田 実雄, 藤岡 洋
著者情報
キーワード: 11a-B1-8, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MBE, スパッタリング）, 窒化ガリウム, スパッタリング
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