応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第62回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 13a-B1-6
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

高Al組成のn-AlGaNにおけるV系電極のコンタクト特性
*森 一喜, 武田 邦宏, 草深 敏匡, 岩谷 素顕, 上山 智, 竹内 哲也, 赤崎 勇, 天野 浩
著者情報
キーワード: 13a-B1-6, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, デバイス，プロセス, V系電極, n型AlGaN, コンタクト特性
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