Mg<i><sub>x</sub></i>Zn<sub>1-<i>x</i></sub>O/ZnOヘテロ構造における面内Mg分布の評価と制御

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 12a-D1-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3833

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

Mg_xZn_1-xO/ZnOヘテロ構造における面内Mg分布の評価と制御

*打田正輝, ジョセフフォルソン, 瀬川勇三郎, 小塚裕介, 塚﨑敦, 川﨑雅司

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キーワード: 12a-D1-11, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 薄膜成長, ZnO, 分子線エピタキシー法, 低温フォトルミネッセンス

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