スパッタリング法によるAZO膜の電気特性に与える投入電力の影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第62回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 13a-P18-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3841

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 62

開催地: 東海大学

開催日: 2015/03/11 - 2015/03/14

スパッタリング法によるAZO膜の電気特性に与える投入電力の影響

*正力幹也, 井上創太, 菊池大樹, 杉浦怜, 舩木修平, 山田容士

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キーワード: 13a-P18-7, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 透明導電膜, 酸化物透明導電膜, スパッタリング法

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