Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub>シングルモード光導波路の作製及び評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14p-PA4-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1007

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

Ta₂O₅シングルモード光導波路の作製及び評価

*矢木晨太郎, 丸山武男, 飯山宏一

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キーワード: 14p-PA4-8, 光・フォトニクス, シリコンフォトニクス, 光導波路，パッシブデバイス，ファイバーカプラー, 光導波路

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