第76回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 14p-2C-12
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 76
開催地: 名古屋国際会議場
開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16
フェムト秒ベッセルレーザービームによるサブミクロン加工時のSiおよびAl表面リップルパターンの研究；偏光依存性
キーワード:
14p-2C-12,
JSAP-OSA Joint Symposia 2015,
Optical Micro-sensing, Manipulation, and Fabrications,
micro-fabrication with optical vortices, nano-particles, fs and ps laser pulses, interference,
フェムト秒レーザー,
周期的リップル,
ベッセルビーム
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