NO<sub>2</sub>分子吸着による水素終端ダイヤモンド表面のホールドーピングの実時間測定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15p-4F-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1240

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

NO₂分子吸着による水素終端ダイヤモンド表面のホールドーピングの実時間測定

*花田賢志, 嘉数誠

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キーワード: 15p-4F-8, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, ダイヤモンド薄膜, ダイヤモンド半導体

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