赤外線センサ検知部材料のためのTa,Wドープ酸化バナジウム膜の形成(Ⅳ)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14p-PA10-15

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1403

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

赤外線センサ検知部材料のためのTa,Wドープ酸化バナジウム膜の形成(Ⅳ)

新井大輝, 齋藤和弘, 渡邊良祐, *齋藤洋司

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キーワード: 14p-PA10-15, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 半導性・導電性薄膜, 赤外線センサ, 相転移

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