一次元ナノ構造を有するフッ素ドープ酸化スズ薄膜の形成

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15a-2J-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1406

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

一次元ナノ構造を有するフッ素ドープ酸化スズ薄膜の形成

バンダラアジット, 奥谷昌之, 下村勝, *村上健司, ラジャパクセガーミニ

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キーワード: 15a-2J-2, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 半導性・導電性薄膜, 透明導電酸化物膜, FTO, スプレー熱分解堆積

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