新規アクリル系ポリマー型電子線レジストの露光特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 16a-4E-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1519

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

新規アクリル系ポリマー型電子線レジストの露光特性

*星野亮一, 河田敦, 國武雅司, 落合俊介, 髙山智寛, 岸村由紀子, 浅田裕法

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キーワード: 16a-4E-11, ビーム応用, 微細パターン・微細構造形成技術, レジスト, 電子線レジスト, ポリマー型レジスト

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