イオン注入された石英ガラスの光学特性とイオン注入量モニターへの応用

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14p-4E-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1551

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

イオン注入された石英ガラスの光学特性とイオン注入量モニターへの応用

*田中修平, 上野芳子, 吉田寿美江, 松田耕自, 永山勉, 井内裕

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キーワード: 14p-4E-9, ビーム応用, イオンビーム一般, イオン・固体相互作用, イオン・固体相互作用, イオン注入, 石英

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