誘導結合型プラズマを用いて発生させた水素ラジカルによるクロロシラン系原料の分解

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15p-PB2-51

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1615

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

誘導結合型プラズマを用いて発生させた水素ラジカルによるクロロシラン系原料の分解

*堤大耀, 岡本裕二, 石垣隆正, 角谷正友

著者情報

キーワード: 15p-PB2-51, プラズマエレクトロニクス, プラズマ生成・制御, その他のプラズマの生成・制御, プラズマ

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2015 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top